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硅烷

硅烷

  • 所属分类:电子气体
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  • 发布时间:2022-09-28 11:12:28
  • 产品概述

硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高的硅氢化合物,通式为SinH2n+2。其中,甲硅烷较为常见,有时也将甲硅烷简称为硅烷。


硅烷之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要, 首先是与它的特性有关,同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应,可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。利用硅烷可以实现纯度高且精细(可达原子尺寸)的控制和灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。


行业应用

硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的主要的特种气体, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷作为含硅薄膜和涂层的应用已从传统的微电子产业扩展到钢铁、机械、化工和光学等各个领域。硅烷还有一潜在应用是制造高性能陶瓷发动机零件尤其是使用硅烷制造硅化物(Si3N4 , SiC等) 微粉技术越来越受重视。

硅烷

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